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產品介紹: 高頻光電導少數載流子壽命測試儀是按照半導體設備和材料（F28-75）及GB/T1553的要求，采用高頻光電導衰減測量方法，適用于硅、鍺單晶的少數載流子壽命測量，硅單晶壽命測量ρ≥2Ω·cm。 規格參數 測試范圍：5-10000μs； 電阻率范圍：ρ≥2Ω·cm 參雜硅單晶片（厚度小于1mm），電阻率范圍：ρ＞0.1Ω·cm 重復性誤差：≤±20% 光脈沖發生裝置 重復頻率：＞20~30次/s 光脈沖關斷時間：0.2-1μs，余輝＜1μs 紅外光源波長：1.06-1.09μm（測量硅單晶），紅外光在硅單晶內穿透深大于500μm如測量鍺單晶壽命需配置適當波長的光源 脈沖電源：5A-20A 高頻振蕩源 石英諧振器頻率：30MHz 輸出功率：＞1W 放大器、檢波器 放大倍數：25倍 頻寬范圍：2Hz-2MHz 光源電極臺：可測縱向放置的單晶、豎放單晶橫載面的壽命 可測單晶尺寸： 斷面豎測：直徑25-150，厚2mm-500mm 縱向臥測：直徑5mm-150mm，長50mm-800mm 讀數方式：可選配測試軟件或數字示波器讀數 測試軟件：具有自動保存數據及測試點衰減波形，可進行查詢歷史數據和導出歷史數據等操作。
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