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產品簡介: 數字式硅晶體載流子復合壽命測試儀是按照半導體設備和材料(MF28-0707、MF1535-0707)及GB/T1553的要求。采用高頻光電導衰減測量方法,適用于測量鑄造多晶和硅晶體載流子復合壽命。 規格參數: 少子壽命測量范圍:0.25μS-10ms 電阻率下限:≥0.3Ω·cm 測量型號:N型或P型單晶或鑄造多晶 光脈沖發生裝置 重復頻率:>15次/S 脈寬范圍:≥10μs 紅外光源波長:1.06-1.08μm 脈沖電流:5A-16A 紅外光源短波長:0.904-0.905μm 脈沖電流:5A-16A 高頻源 頻率范圍:30MHz 輸出功率:>1W 放大器、檢波器 頻率響應:2Hz-2MHz 放大倍數:約30倍 光源電極臺:測量低阻樣片用;可測縱向放置的單晶、測量豎放單晶橫截面的壽命。 電極背光燈:當光電導衰退波形出現陷阱效應時,開啟背光燈后曲線尾部逐漸下降,此時讀出的衰退時間接近壽命值。 讀數方式:可選配測試軟件或數字示波器讀數 測試軟件:具有自動保存數據及測試點衰減波形,可進行查詢歷史數據和導出歷史數據等操作。
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